Сарпӯши пошидан Вақте ки зарраҳои энергияи баланд сатҳи сахтро бомбаборон мекунанд, зарраҳои сатҳи сахт метавонанд энергия ба даст оранд ва аз сатҳе, ки дар зеризаминӣ ҷойгир карда мешаванд, гурезанд.Ҳодисаи пошидан аз соли 1870 дар технологияи пӯшиш ба кор бурда шуд ва пас аз соли 1930 тадриҷан дар истеҳсолоти саноатӣ бо сабаби афзоиши суръати таҳшиншавӣ истифода мешавад.Таҷҳизоти пошидани дуқутба, ки маъмулан истифода мешавад, дар расми 3 нишон дода шудааст [Диаграммаи схемавии ду қутби пошидани қутбҳои вакуумӣ].Одатан, маводе, ки бояд ҷойгир карда шавад, ба табақе сохта мешавад - ҳадаф, ки дар катод ҷойгир карда шудааст.Субстрат ба анод, ки ба сатхи максад нигаронида шудааст, чанд сантиметр дуртар аз максад гузошта мешавад.Пас аз он ки система ба вакууми баланд интиқол дода мешавад, он бо гази 10 ~ 1 Па (одатан аргон) пур карда мешавад ва дар байни катод ва анод шиддати чанд ҳазор вольт ҷорӣ карда мешавад ва дар байни ду электрод разряди дурахшон ба вуҷуд меояд. .Ионҳои мусбате, ки дар натиҷаи разряд ба вуҷуд омадаанд, дар зери таъсири майдони электрикӣ ба катод парвоз мекунанд ва бо атомҳои рӯи ҳадаф бархӯрдаанд.Атомҳои ҳадаф, ки дар натиҷаи бархӯрд аз сатҳи ҳадаф фирор мекунанд, атомҳои пошхӯрда номида мешаванд ва энергияи онҳо дар ҳудуди аз 1 то даҳҳо электрон вольт аст.Атомҳои пошидашуда дар сатҳи субстрат ҷойгир карда, филм ба вуҷуд меоранд.Баръакси молидани бухоршавӣ, пӯшиши пошидан бо нуқтаи обшавии маводи плёнка маҳдуд намешавад ва метавонад моддаҳои оташнашаванда ба монанди W, Ta, C, Mo, WC, TiC ва ғайраро пошад. Плёнкаи омехтаи пошида метавонад тавассути пошидани реактивӣ пошида шавад. усул, яъне гази реактивї (О, N, HS, CH ва ѓайра) аст
ба гази Ar илова карда мешавад ва гази реактивӣ ва ионҳои он бо атоми ҳадаф ё атоми пошида реаксия карда, пайвастагиро (ба монанди оксид, нитроген) Пайвастшавӣ ва ғ.) ташкил медиҳанд ва дар субстрат ҷойгир мешаванд.Барои гузоштани плёнкаи изоляторй усули пошидани пошидани баландбасомадро истифода бурдан мумкин аст.Субстрат ба электроди заминӣ васл карда мешавад ва ҳадафи изолятсия ба электроди муқобил васл карда мешавад.Як нӯги таъминоти қувваи басомади баланд ба замин пайваст карда шудааст ва як нӯги он ба электроди бо ҳадафи изолятсияшаванда тавассути шабакаи мувофиқ ва конденсатори блоки доимии доимӣ пайваст карда мешавад.Пас аз ба кор даровардани қувваи барқи басомади баланд, шиддати басомади баланд қутбияти худро пайваста тағир медиҳад.Электронҳо ва ионҳои мусбати плазма мутаносибан дар нимсикли мусбат ва нимасикли манфии шиддат ба ҳадафи изолятсия мерасанд.Азбаски ҳаракатнокии электронҳо нисбат ба ионҳои мусбат баландтар аст, сатҳи ҳадафи изолятсия манфӣ заряднок мешавад.Ҳангоми расидан ба мувозинати динамикӣ, ҳадаф дар потенсиали манфии ғаразнок қарор дорад, то пошидани ионҳои мусбат ба ҳадаф идома ёбад.Истифодаи пошидани пошидани магнетрон метавонад суръати таҳшинро дар муқоиса бо пошидани магнитронӣ тақрибан ба миқдори зиёд афзоиш диҳад.
Вақти фиристодан: июл-31-2021