Пӯшидани бухоршавӣ: Бо гарм кардан ва бухор кардани як моддаи муайян барои ҷойгир кардани он дар сатҳи сахт, онро қабати бухоршавӣ меноманд.Ин усулро бори аввал соли 1857 М.Фарадей пешнињод карда буд ва он яке аз усулњо гардид
усулҳои пӯшиш дар замони муосир маъмулан истифода мешаванд.Структураи тачхизоти парпечкунии бухоркунй дар расми 1 нишон дода шудааст.
Моддаҳои бухоршуда, аз қабили металлҳо, пайвастагиҳо ва ғайра дар тигель ҷойгир карда мешаванд ё ба сими гарм ҳамчун манбаи бухоршавӣ овезон карда мешаванд ва қисмҳои коркардшуда, аз қабили металлӣ, сафолӣ, пластикӣ ва дигар субстратҳо, дар пеши қабат ҷойгир карда мешаванд. тигель.Пас аз эвакуатсия кардани система ба вакууми баланд, тигел барои бухор кардани мундариҷа гарм карда мешавад.Атомҳо ё молекулаҳои моддаи бухоршуда дар рӯи субстрат ба таври конденсатӣ ҷойгир карда мешаванд.Ғафсии филм метавонад аз садҳо ангстром то якчанд микрон бошад.Ғафсии плёнка бо суръати бухоршавӣ ва вақти манбаи бухоршавӣ (ё миқдори боркунӣ) муайян карда мешавад ва ба масофаи байни манбаъ ва субстрат алоқаманд аст.Барои рӯйпӯшҳои майдони калон, як субстрати гардишкунанда ё манбаъҳои зиёди бухоршавӣ аксар вақт барои таъмини якрангии ғафсии филм истифода мешаванд.Масофа аз манбаи бухоршавӣ то субстрат бояд аз роҳи миёнаи озоди молекулаҳои буғ дар гази боқимонда камтар бошад, то бархӯрди молекулаҳои буғ бо молекулаҳои гази боқимонда аз боиси таъсири кимиёвӣ пешгирӣ карда шавад.Энергияи миёнаи кинетикии молекулаҳои буғ тақрибан аз 0,1 то 0,2 электрон-волтро ташкил медиҳад.
Се намуди манбаи бухоршавӣ вуҷуд дорад.
①Манбаи гармидиҳии муқовимат: Барои сохтани фолгаи қаиқ ё филамент аз металлҳои оташ тобовар ба монанди волфрам ва тантал истифода баред ва барои гарм кардани моддаи бухоршуда дар болои он ё дар тигел ҷараён диҳед (Расми 1 [Диаграммаи схемавии таҷҳизоти рӯйпӯшкунии бухоршавӣ] пӯшиши вакуумӣ) Гармидиҳии муқовимат манбаъ асосан барои бухор кардани маводҳо ба монанди Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni истифода мешавад;
②Манбаи гармидиҳии индуксионии басомади баланд: барои гарм кардани тигел ва маводи бухоршавӣ ҷараёни индуксионии баландбасомадро истифода баред;
③Манбаи гармидиҳии шуои электронӣ: татбиқшаванда Барои маводҳои дорои ҳарорати баландтари бухоршавӣ (на камтар аз 2000 [618-1]), мавод тавассути бомбаборон кардани мавод бо нурҳои электронӣ бухор карда мешавад.
Дар муқоиса бо дигар усулҳои пӯшонидани вакуумӣ, қабати бухоршавӣ дорои суръати баландтар аст ва онро бо плёнкаҳои мураккаби элементарӣ ва аз ҷиҳати термикӣ пусида пӯшидан мумкин аст.
Барои гузоштани як плёнкаи яккристалии тозагии баланд, эпитаксикаи чӯби молекулавӣ метавонад истифода шавад.Таҷҳизоти эпитаксионии молекулӣ барои парвариши як қабати кристаллӣ GaAlAs дар расми 2 нишон дода шудааст.Печи реактивй бо манбаи шуои молекулй чихозонида шудааст.Вақте ки он дар зери вакууми ултра баланд то ҳарорати муайян гарм карда мешавад, элементҳои дар танӯр дар ҷараёни молекулавӣ ба чӯб монанд ба субстрат бароварда мешаванд.Субстрат то ҳарорати муайян гарм карда мешавад, молекулаҳои дар субстрат ҷойгиршуда метавонанд муҳоҷират кунанд ва кристаллҳо бо тартиби торчаи булӯрии субстрат парвариш карда мешаванд.Эпитаксияи чӯби молекулавӣ метавонад истифода шавад
плёнкаи монокристалии таркибии тозаи баландро бо таносуби стехиометрии зарурй ба даст оред.Филм сусттарин мерӯяд Суръатро дар 1 қабати ягона / сония идора кардан мумкин аст.Тавассути назорати халта, плёнкаи монокристалиро бо таркиб ва сохтори зарурӣ дақиқ сохтан мумкин аст.Эпитаксияи нури молекулавӣ барои истеҳсоли дастгоҳҳои гуногуни оптикӣ ва плёнкаҳои гуногуни сохтори суперлаттикӣ васеъ истифода мешавад.
Вақти фиристодан: июл-31-2021